G-18 精密温度制御チャンバの研究
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概要
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In semiconductor fabrication and other fine-processing fields, measurements and precision processes have become common. This has generated a need for precision temperature-control systems that minimize temperature fluctuations, which can have a negative effect on measurement accuracy. This report investigates the improvement of water temperature-control performance,air temperature control using a special heater and the control of air temperature fluctuation using a heat accumulator all with the aim of improving control performance. The results of this study were applied to a high-precision temperature-control system achieving an air-temperature variation within ±0.002℃.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2004-08-20
著者
-
高橋 稔
日立プラント建設(株)
-
後藤田 龍介
日立プラント建設 松戸研究所
-
後藤田 龍介
日立プラント建設(株)
-
田中 真
日立プラント建設(株)
-
後藤田 龍介
日立プラントテクノロジー
-
田中 真
日立プラントテクノロジー
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