C-70 生産施設における省エネルギー化に関する研究 : (第2報)ヒートパイプを用いた冷却パネルの基礎実験
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概要
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The energy-saving technical development and spread are expected than before, because law revision was performed. Taking advantage of this, we examine saving energy for semiconductor factories. As an example, we suggest a method to cool heating load of process devices with a cooling panel without using transportation power of air. In this report, I performed a fundamental experiment of cooling panel system with heat pipe.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2007-08-24
著者
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