恒温式クリーンルームにおける精密温度制御に関する実験的研究
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概要
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省エネルギーの観点から,空調機内において再熱を行わない,熱源として冷水のみを用いた空調機付きの恒温式クリーンルームを製作し,クリーンルーム内温度変動制御性について実験的研究を行った.クリーンルーム内温度,冷水コイル内入口冷水温度,および熱交換器出口冷水温度を測定し,各温度変動成分についてスペクトル解析,および相互相関関数を求めた結果,熱源からの冷水温度変動によるクリーンルーム内温度変動への影響が顕著であることがわかった.また,空調機内の二次側冷水循環系数量を増加させることにより,クリーンルーム内室温変動幅を減少させることが効果的であることを明らかにした.
- 1999-10-25
著者
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