E-46 半導体工場向け省エネルギー計画の総合評価システムの開発
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概要
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To find the most suitable strategies of energy conservation for Semiconductor factory, it is necessary to assess various combinations of energy conservation techniques based on both environmental and economic viewpoints. This paper describes an integrated assessment computer program. And, computer simulation of energy consumption is carried out for a semiconductor manufacturing cleanroom of 10,000m2 located in Tokyo area.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2009-08-18
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