304 SiCスパッタ薄膜のはく離強度に及ぼす界面微細突起物の影響(破壊,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2010-05-21
著者
-
加藤 昌彦
広島大学大学院工学研究科
-
菅田 淳
広島大学
-
曙 紘之
広島大学 大学院工学研究科
-
加藤 昌彦
広島大学
-
曙 紘之
広島大学 大学院工学研究院
-
菅田 淳
広島大学 大学院工学研究院
-
林 真人
広島大学大学院工学研究院
-
林 真人
広島大学[院]
-
曙 紘之
広島大学
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