レーザー結晶化のプロセスシミュレータの開発 : 2次元および3次元シミュレータの開発(シリコン関連材料の作製と評価)
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概要
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レーザー結晶化のプロセスシミュレータを開発している.核生成確率・結晶成長速度・部分結晶化モデルを組み込んだ,2次元および3次元シミュレータを開発した.結晶化の進捗挙動・柱状結晶粒の形成・マイクロCZ法のメカニズム・結晶粒径の基板温度に対する依存性・結晶粒径の表面核生成確率に対する依存性などを明らかにした.
- 2011-12-09
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