Poly-Si TFTによる温度センサ(シリコン関連材料の作製と評価)
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概要
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TFTを用いての温度センサの研究開発を目標としている。まずTFTのオフ電流の温度依存性に着目し、オフ電流を利用した温度センサの開発をした。また、アクティブマトリクス駆動にすることにより、温度エリアセンサへの応用を考えた。さらに、複数の異なった周期をもつパルス波を利用し、広範囲の温度域を一度のスキャニングで検出する実験を行った。次にTFTのオン電流の温度依存性に着目しリングオシレータを使用した温度センサの検討も行なった。
- 2011-12-09
著者
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