30pC04P 小型容量性結合RFプラズマ源内のプラズマパラメータ分布(プラズマ計測I)

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概要

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• 2006-11-20

著者

• 和田 元

  同志社大・工

• 粕谷 俊郎

  同志社大院工

• 粕谷 俊郎

  同志社大・理工

• 粕谷 俊郎

  同志社大学理工学部

• 坂本 陽平

  同志社大・工

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