26aB24P 容量性プローブを用いた低圧放電管内のポテンシャル分布測定(プラズマ基礎・応用)

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概要

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• 2003-11-18

著者

• 和田 元

  同志社大・工

• 粕谷 俊郎

  同志社大院工

• 粕谷 俊郎

  同志社大・理工

• 五島 成夫

  パナソニック電工株式会社

• 車田 進一

  同志社大・工

• 五島 成夫

  同志社大・工

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