28aB18P 液体金属保持型プラズマスパッタ源(加熱/炉設計)

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概要

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• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2001-11-20

著者

• 和田 元

  同志社大・工

• 粕谷 俊郎

  同志社大院工

• 粕谷 俊郎

  同志社大・理工

• 堀野 裕治

  産総研・関西

• 藤田 隆平

  同志社大・工

• FLAUTA R.

  同志社大・工

• 堀野 裕治

  産総研関西

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