29aA02P PECVD薄膜生成用磁化プラズマ源の開発(プラズマ応用)
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概要
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- 2006-11-20
著者
-
和田 元
同志社大・工
-
粕谷 俊郎
同志社大院工
-
粕谷 俊郎
同志社大・理工
-
堀野 裕治
産総研・関西
-
粕谷 俊郎
同志社大学理工学部
-
堀野 裕治
産業技術総合研究所
-
藤田 直人
同志社大・工
-
亀岡 昌樹
同志社大・工
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