フラッシングスプレーCVD法によるNb_2O_5膜の成膜(TFT(有機,酸化物),半導体プロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)
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概要
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4Gbit以降のDRAM用キャパシタ材料の候補である比誘電率が60のNb_2O_5膜に着目した。CVDプロセスにおいて出発原料にはペンタエトキシニオブが一般的に用いられている。しかし、CVD法にこの出発原料を用いた場合、蒸気圧が133℃において13.3Paと非常に低く安定した気化に問題がある。そこで我々は新たな気化方式としてフラッシングスプレーCVD法を提案した。そして噴射弁の数と配置を髄化することで直径300mmのSi基板上に膜厚分布で±1.3%を得た。また、そのときの成膜速度は28-39nm/minであった。
- 2011-07-22
著者
-
千田 二郎
同志社大学理工学部
-
石田 耕三
(株)堀場製作所
-
清水 哲夫
(株)エステック
-
千田 二郎
同志社大学
-
千田 二郎
同志社大学大学院
-
富永 浩二
株式会社堀場製作所
-
清水 哲夫
株式会社堀場エステック
-
石田 耕三
株式会社堀場製作所
-
Senda Jiro
Dept. Of Mechanical Engineering Doshisha University
-
千田 二郎
同志社大学工学部 噴霧・燃焼工学研究室
-
寺阪 正訓
株式会社堀場エステック
-
千田 二郎
Dept. of Mech. Eng, Doshisha University
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