305 減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の提案 : HfO_2膜表面におよぼす原料噴射量の影響(GS9-1 機械材料)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-03-05
著者
-
千田 二郎
同志社大学理工学部
-
石田 耕三
(株)堀場製作所
-
大嶋 元啓
福井工業大学
-
富永 浩二
株式会社堀場製作所
-
石田 耕三
株式会社堀場製作所
-
富永 浩二
堀場製作所
-
大嶋 元啓
福井工大
-
千田 二郎
同志社大
-
Senda Jiro
Dept. Of Mechanical Engineering Doshisha University
-
千田 二郎
同志社大学工学部 噴霧・燃焼工学研究室
-
石田 耕三
堀場製作所
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