1P1-C17 バイモルフ型静電マイクロアクチュエータの力特性
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概要
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Four types of bimorph electrostatic microactuators having different structure and size were fabricated and tested. They consist of bimorph structure beams made of poly-Si and Au/Cr, and their performance is achieved by using several beams connected in series and bending them sequentially with electrostatic force. Forces generated by the microactuators were measured with a Si cantilever and a laser displacement meter. The relationship between applied voltage and generated force showed that the actuator which had longer beams located closer to a substrate generated larger force by applying lower voltage.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
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