-ボート法による CdTe 蒸着膜の性質
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概要
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-ボートにより CdTe(In) 蒸着膜をガラスおよびネサガラス上につくり膜厚1〜3μm,抵抗率3.5×1000〜2.0×100000Ωcm,ホール移動度20〜79平方センチ/VS の n 形膜を得た.ネサガラス上に蒸着した試料はネサ膜と nCdTe,また n+CdTe と Au 間にバリアが出来る.その分光感度特性を測定し検討した.
- 木更津工業高等専門学校の論文
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