摂動遮断法による光ビームプロファイラ(機構デバイスの信頼性,信頼性一般)
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概要
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摂動遮断法によるビームプロファイラを試作評価した。光ビームに垂直な遮光板をもつ可動コイルを、正弦波重畳したランプ信号で駆動したときの同期検波出力からプロファイルを求めるものである。可動コイルの振動振幅に応じて空間分解能を小さくすることができる。実験室でプロファイラとして簡便容易に利用できるほか、光ファイバ微小変位センサとしても応用展開することができる。簡単な数学的検討と試作実験による検証結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2010-02-12
著者
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