BOF(Band-pass filter On Fiber-end)のポストアニールによる中心波長変化(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
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概要
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光ファイバの先端に誘電体多層膜からなるBOFを蒸着してセンサとして用いる場合,蒸着時のBOFの特性ばらつきでセンサ特性がばらつく.これを抑制するため蒸着後にポストアニールを行ってBOFの特性を調整する可能性を検討した.TiO2/SiO2構造とTa2O5/SiO2構造のBOFを蒸着後にポストアニールし,加熱時間と加熱温度をパラメータとして中心波長変化と3dB幅変化を測定した.その結果,酸化の進行による屈折率変化が原因と思われる中心波長変化が両者とも7nm以上見られたことから特性調整の可能性が検証された.
- 2009-08-13
著者
-
小松 康俊
株式会社渡辺製作所開発部
-
山口 正剛
株式会社渡辺製作所開発部
-
中野 正行
株式会社渡辺製作所開発部
-
斧田 誠一
株式会社渡辺製作所開発部
-
中野 正行
(株)渡辺製作所
-
小松 康俊
(株)渡辺製作所
-
山口 正剛
(株)渡辺製作所
-
斧田 誠一
(株)渡辺製作所
-
斧田 誠一
(株)渡辺製作所開発部
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