半導体用空気清浄化に用いるガス吸収装置内物質移動現象の解明
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概要
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電子部品用クリーンルームの空気を浄化するために使われているエアワッシャ装置の一部、すなわち三角波形流路多層構造のエリミネータ部における流動および物質移動特性の解明を目的として、実験およびシミュレーション解析を行った。実験ではナフタレン昇華法を用い、波形流路の波形高さ2aと流路幅Hで表現される無次元形状パラメータ2a/Hを変化させてSh数の測定を行った。シミュレーションではNH_3およびSO_2弱電解質ガスを対象としてEddy-CellモデルおよびFickの法則によりガス吸収数値計算を行った。具体的には、平板型流路においてEddy-Cellモデル中の定数αを数値的に求める式を算出し、波形流路への適用を試みた結果、波形流路長さ方向のガス吸収特性については、入口部においてガス吸収率が高いことが実験、解析ともに示された。
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2003-10-25
著者
-
三浦 隆利
東北大学大学院 工学研究科化学工学専攻
-
青木 秀之
東北大学大学院工学研究科
-
三浦 隆利
東北大学
-
山本 剛
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
木村 祐一郎
東北大学大学院工学研究科
-
中川 辰二
東北大学大学院工学研究科
-
井上 正憲
高砂熱学工業(株)総合研究所
-
丹野 庄二
東北大学環境保全施設
-
山本 剛
九州大学大学院工学研究院
-
丹野 庄二
東北大学大学院工学研究科 化学工学専攻
-
丹野 庄二
東北大学環境保全センター
-
青木 秀之
東北大学大学院
-
三浦 隆利
東北大 大学院
-
三浦 隆利
東北大学大学院
-
井上 正憲
高砂熱学工業(株)
-
山本 剛
東北大学大学院工学研究科
-
井上 正憲
高砂熱学工業
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