半導体用空気清浄化に用いるガス吸収装置内物質移動現象の解明
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概要
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- 空気調和・衛生工学会の論文
- 2003-10-25
著者
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三浦 隆利
東北大学大学院 工学研究科化学工学専攻
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青木 秀之
東北大学大学院工学研究科
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山本 剛
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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木村 祐一郎
東北大学大学院工学研究科
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中川 辰二
東北大学大学院工学研究科
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井上 正憲
高砂熱学工業(株)総合研究所
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丹野 庄二
東北大学環境保全施設
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