C-3-25 シリコン基板光導波型加速度センサ : センサ感度のダイヤフラム厚依存性(光記録・計測(2),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2009-09-01

著者

• 大河 正志

  新潟大工

• 大河 正志

  新潟大学工学部

• 佐藤 孝

  新潟大学工学部

• 大島 卓也

  新潟大学大学院自然科学研究科

• 遠藤 秀人

  新潟大学大学院自然科学研究科

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