移流の卓越する室内気流における沈降を伴う浮遊微粒子の拡散 : 第1報-実大クリーンルームにおける実測と模型実験
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概要
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クリーンルーム内の高清浄度を維持するためには,そこでの浮遊微粒子拡散性状の予測と制御が重要である.本報では,クリーンルーム内の浮遊微粒子拡散過程について模型実験および実大実験により検討した結果について報告する.また,これらの実験に安定したエアロゾル場を供給することを目的としてエアロゾル濃度制御供給装置を開発したので,その概要についても報告する.浮遊微粒子固有の性質(凝集,沈着,沈降など)に着目して行われた実験の結果,一般にクリーンルーム内で想定される粒子濃度(10億個/m^3以下)および粒子径(5μm以下)では浮遊微粒子の拡散性状はPassive Contaminantのそれと同様であるとみなしてよいことがわかった.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 1989-02-25
著者
-
永野 紳一郎
金沢工業大学
-
加藤 信介
東京大学生産技術研究所
-
村上 周三
東京大学生産技術研究所
-
永野 紳一郎
フジタ工業
-
田中 幸彦
フジタ
-
田中 幸彦
フジタ工業(株)
-
田中 幸彦
フジタ工業技術研究所
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