21112 形状記憶合金で駆動するマイクロピンセットに関する研究(MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In late years, the miniaturization of various machines advances, and the element constituting a machine becomes smaller. Therefore that demand to the handling technology to handle minute parts rises is expected. In this study, we aim at the production of tweezers to handle machine parts of the microsize. Our aim is to develop the microtweezers which can be replaced to a needle used in IC process check it. The shape-memory alloy wire was installed as an actuator in micromechanism of the silicon. In addition, We measured it about movement and the characteristic of the device. And in the production process of the device, it was investigated relations with the characteristic.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-03-05
著者
関連論文
- G1601-1-1 マイクロピンセットにおける把持面のICPエッチング加工条件と摩擦特性(センサ・アクチュエータ)
- ディスクフラッタに起因するヘッド位置決め誤差の推定法
- 容器内積層回転円盤間の流れ
- 21112 形状記憶合金で駆動するマイクロピンセットに関する研究(MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- 1214 ピンセット型マイクロハンドリング機構の接触部と把持特性に関する検討(J10-1 マイクロ・ナノ材料システムの力学と強度・機能評価(1) 強度・機能評価法開発,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 3404 煙風洞によるHDDヘッドアーム周りの流れの可視化に基づく流体関連振動低減に関する検討(S70-1 情報機器コンピュータメカニクス(1),S70 情報機器コンピュータメカニクス)
- 5727 HDDにおけるディスクの流体関連振動の加振メカニズムに関する実験的検討(S84-3 情報機器コンピュータメカニクス(3),S84 情報機器コンピュータメカニクス)
- シュラウドクリアランスにおける流れによる磁気ディスクの励振メカニズムの検討(機械力学,計測,自動制御)
- 磁気ディスク装置における浮上スライダとディスクの接触力の特性に関する検討(機械力学,計測,自動制御)
- ディスクフラッタに起因するヘッド位置決め誤差メカニズムの検証と位置決め誤差低減のためのヘッド支持機構の検討
- HDDのヘッドアームにおける流れによる励振力低減の実験的検討(機械力学,計測,自動制御)
- スライダ搭載薄膜圧電 AE センサの出力特性の実験的検討
- 磁気ヘッド接触計測用薄膜圧電AEセンサの出力特性に関する検討
- T1601-1-1 MEMSアクチュエータ用薄膜ポリイミドダイアフラムの加工法と機械的特性([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))
- B-2 形状記憶ポリマーを用いたMEMSアクチュエータの構造と加工方法(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- D-1-2 磁性薄膜を用いたMEMSアクチュエータの検討(D-1 マイクロアクチュエータ,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- J161031 薄膜形状記憶ポリマーを用いた梁型MEMSアクチュエータの動作特性([J16103]マイクロナノメカト口ニクス(3))