スライダ搭載薄膜圧電 AE センサの出力特性の実験的検討

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概要

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• Output characteristics of a thin-film piezoelectric acoustic emission (AE) sensor array (sputtered ZnO, 0.1×0.1 mm) fabricated on a 2-mm-long Si slider for detecting head-disk interactions in hard disk drive systems were determined. The output characteristics were compared with those of a bulk AE sensor (0.7×0.7×1.0) attached to the back of the slider. Sensitivity of the thin-film sensor was about 1.7 mV/N, almost half of that of the bulk sensor. The thin-film sensor could detect AE waves caused by the contact force about 1.7 mm away from the sensor. When the slider contacted a bump on the disk, the output waveforms of the thin-film sensor were almost the same as those of the bulk sensor, and the noise level of the thin-film sensor was lower than that of the bulk sensor. Output signals of the array sensor matched the slider flying height at the position of each sensor.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1997-09-25

著者

• 今井 郷充

  日本大学理工学部

• 今井 郷充

  (株)日立製作所ストレージシステム事業部

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