磁気ヘッド接触計測用薄膜圧電AEセンサの出力特性に関する検討

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• A new type of acoustic emission (AE) sensor was developed for detecting head-disk interaction in magnetic disk devices. In order to develop a small sensor, we used a thin-film piezoelectric material and mounted it on the Si slider using micromachining techniques. We conducted a basic experiment and a simulation of sensor output, and confirmed that the simulation used here can predict sensor output characteristics, This paper describes the structure of the sensor and the method of simulation. We also performed several other simulations of sensor output characteristics using this method, and confirmed that the new sensor is applicable to tribological research on head-disk interaction.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1996-03-25

著者

• 今井 郷充

  日本大学理工学部

• Burger Gert

  Mesa Research Institute University Of Twente

• 今井 郷充

  日立製作所機械研究所

• LAMMERINK Theo

  MESA Research Institute, University of Twente

• FLUITMAN Jan

  MESA Research Institute, University of Twente

• Fluitman Jan

  Mesa Research Institute University Of Twente

• Lammerink Theo

  Mesa Research Institute University Of Twente

関連論文

• ディスクフラッタに起因するヘッド位置決め誤差の推定法
• 容器内積層回転円盤間の流れ
• 21112 形状記憶合金で駆動するマイクロピンセットに関する研究(MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
• シュラウドクリアランスにおける流れによる磁気ディスクの励振メカニズムの検討(機械力学,計測,自動制御)
• 磁気ディスク装置における浮上スライダとディスクの接触力の特性に関する検討(機械力学,計測,自動制御)
• ディスクフラッタに起因するヘッド位置決め誤差メカニズムの検証と位置決め誤差低減のためのヘッド支持機構の検討
• HDDのヘッドアームにおける流れによる励振力低減の実験的検討(機械力学,計測,自動制御)
• スライダ搭載薄膜圧電 AE センサの出力特性の実験的検討
• 磁気ヘッド接触計測用薄膜圧電AEセンサの出力特性に関する検討
• J161031 薄膜形状記憶ポリマーを用いた梁型MEMSアクチュエータの動作特性([J16103]マイクロナノメカト口ニクス(3))

スポンサーリンク