1113 AFMによる表面間力測定 : 金-シリコン間に働く凝着力・摩擦力の湿度依存性(マイクロトライボロジー,一般講演)
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概要
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Atomic force microscope (AFM) is a powerful and widely used tool for investigating micro/nano properties of surfaces. In this study, adhesion force and friction force between Au and Si surfaces were measured using the AFM. Characteristics of the adhesion forces were obtained as a function of relative humidity and the results were found to agree qualitatively with experimental results in a past literature. The friction forces were found to have similar characteristics to that of the adhesion forces with respect to the relative humidity.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-04-20
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