2202 光てこAFMのダイナミック計測における振動振幅の補正手法の研究 : 先端に付加された質量・ばね・ダンピングの影響(要旨講演,マイクロナノ理工学)
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概要
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Vibration amplitude of a cantilever used in an atomic force microscope (AFM) measured by using the optical lever method may include errors and correction of the amplitude depending on the vibration frequency is necessary. Therefore, the correction factors for vibration amplitude of the cantilever with an added mass, spring and damping at an end were derived theoretically. These correction factors are useful for ultrahigh accuracy measurements, especially dynamic measurements, using the AFM.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-03-19
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