3.超臨界二酸化炭素中の高周波プラズマ(<小特集>超臨界流体中プラズマの基礎と応用)
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概要
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電極間に高周波(27.12MHz)を印加し,プラズマを大気圧雰囲気下の二酸化炭素中で発生させる.その後,プラズマを維持しながら高圧ポンプにより二酸化炭素を供給して所定の圧力まで加圧する.このような方法で,超臨界を含む高圧下での高周波プラズマを発生させた.このようなプラズマの基礎特性とナノ材料生成に関して紹介する.
- 2010-06-25
著者
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- 研究グループ紹介：愛媛大学理学部物理学科 プラズマ研究グループ