1-06P-64 SH-SAW溶液センサにおけるSSBWの影響とその補正方法(ポスターセッション 1)
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概要
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Shear horizontal surface acoustic wave (SH-SAW) sensors are highly sensitive in detecting the properties of liquid, which are as relative permittivity, conductivity, viscosity and mass density. In this paper, experimental results of 50 MHz two-channel SH-SAW sensors on 36Y-X LiTaO3 are presented. The measured relative permittivity and conductivity for the liquid with different unmetallized propagation area in the liquid with a low permittivity attenuated due to surface skimming bulk wave radiation, the obtained permittivity and conductivity were slightly different from the exact values. In order to improve this drawback, a compensation method is presented.
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2007-11-14
著者
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谷津田 博美
日本無線(株)研究所
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谷津田 博美
日本無線
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塩川 祥子
SAW&SPR-Tech Corp.
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塩川 祥子
Saw&spr-tech(有)
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小貝 崇
日本無線
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小貝 崇
日本無線(株)
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塩川 祥子
Saw&spr-tech株式会社
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