D-1 反応性スパッタ法による窒化アルミニウム薄膜の作製とその特性(バルク波・表面波デバイス)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2004-10-27
著者
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山田 哲夫
宇部興産(株)中央研究所
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山田 哲夫
宇部興産
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長尾 圭吾
宇部興産(株)宇部研究所
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升井 英治
宇部興産
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丸山 卓也
宇部興産
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西村 浩介
宇部興産
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長尾 圭吾
宇部興産株式会社
-
西村 浩介
宇部興産株式会社
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