長尾 圭吾 | 宇部興産株式会社
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概要
関連著者
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長尾 圭吾
宇部興産株式会社
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西村 浩介
宇部興産株式会社
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山田 哲夫
宇部興産
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山田 哲夫
宇部興産(株)中央研究所
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山田 哲夫
宇部興産(株)宇部研究所
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長尾 圭吾
宇部興産(株)宇部研究所
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升井 英治
宇部興産
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丸山 卓也
宇部興産
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西村 浩介
宇部興産
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岩下 和樹
宇部興産株式会社
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土屋 博史
宇部興産株式会社
著作論文
- 圧電・超音波材料 反応性スパッタ法によるAIN薄膜の作製--薄膜バルク弾性波共振器(FBAR)への適用
- D-1 反応性スパッタ法による窒化アルミニウム薄膜の作製とその特性(バルク波・表面波デバイス)
- C-2-66 W-CDMA band1向け2520サイズFBARデュプレクサの検討(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般講演)