エキシマレーザを用いた有機膜の直接パターニング技術(半導体材料・デバイス)
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概要
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有機トランジスタ(OFET)や有機エレクトロルミネセンス(OEL)素子への適用を目指し,エキシマレーザを用いた有機膜の直接パターニングについて検討した.マスクによるペンタセン及びポリ(3-ヘキシルチオフェン)(P3HT)薄膜の直接パターニングで,2μm Line & Space (L/S)のパターニングが確認できた.また両デバイスのパターニングで,パターニング前後でほとんど劣化の少ない特性を得た.絶縁性ポリマのパターニングを併せて行い,10μmL/Sのパターニングが確認できた.
- 2006-06-01
著者
-
岡田 裕之
富山大学工学部理工学研究科ナノ新機能物質科学専攻
-
有沢 崇志
富山大学理工学研究部
-
本野 由紘
富山大学理工学研究部
-
中 茂樹
富山大学理工学研究部
-
岡田 裕之
富山大学理工学研究部
-
女川 博義
富山大学理工学研究部
-
Okada H
Department Of Electronics And Computer Science Toyama University
-
Okada Hiroyuki
Faculty Of Engineering Toyama University
-
Okada Hiroyuki
Graduate School Of Science & Engineering University Of Toyama
-
Okada Hiroyuki
Graduate School Of Science And Technology University Of Toyama
-
Onnagawa Hiroyoshi
Department Of Electronics And Computer Science Toyama Universiry
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