干渉露光法を用いたナノ粒子配線の作製
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
銀ナノ粒子配線と干渉露光を組み合わせた微細配線形成法について検討した. ガラス基板上に疎水性ポリイミド(PI)を成膜し, 干渉露光法によりPIをパターニングすることで, PI疎水部とガラス親水部からなるLine & Space(L/S)を作製した. このL/Sの親水部に銀ナノ粒子分散液を流し込み, 乾燥させることで微細配線が形成される. 本方法により, 分離された3μm L/S幅配線形成が確認できた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-08-01
著者
-
中 茂樹
富山大学工学部理工学研究科ナノ新機能物質科学専攻
-
岡田 裕之
富山大学工学部理工学研究科ナノ新機能物質科学専攻
-
女川 博義
富山大学工学部
-
女川 博義
富山大学理工学研究部
-
岡田 裕之
富山大学工学部 理工学研究科 ナノ新機能物質科学専攻
-
中 茂樹
富山大学工学部
-
岡田 茂
富山大学工学部
-
Onnagawa Hiroyoshi
Department Of Electronics And Computer Science Toyama Universiry
関連論文
- 混合単層有機EL素子キャリア注入特性の検討(発光型/非発光型ディスプレイ)
- ルブレンドープ混合単層有機EL素子の特性と信頼性評価(有機薄膜・複合膜とデバイス応用,一般)
- フレキシブルマルチカラー自己整合有機ELパネル
- フレキシブルマルチカラー自己整合有機ELパネル(ディスプレイに関する技術全般,LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイに関するデバイス,部品・材料及び応用技術,発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- 自己整合インクジェットプリント法による有機デバイスの開発
- インクジェット法を用いた自己整合有機ダイオード
- インクジェット法を用いた自己整合有機ダイオード(有機材料,一般)
- エキシマレーザを用いた有機膜の直接パターニング技術(半導体材料・デバイス)
- 有機トランジスタのペンタセンパターニング技術(機能性有機薄膜・一般)
- 混合単層有機EL素子キャリア注入特性の検討 (電子ディスプレイ)
- 4)反強誘電性液晶素子の駆動技術(情報ディスプレイ研究会)
- 混合単層膜を用いた有機電界発光素子の発光色制御
- 反強誘電性液晶素子の駆動技術
- 原子間力顕微鏡によるC_nTCNQ分子膜の構造評価
- 反強誘電性液晶での強誘電状態から反強誘電状態の相転移における中間調制御
- MBEによるBlock-by-Block法を用いたBi_2Sr_2CaCu_2O_y薄膜成長
- 液晶の分子構造としきい電圧の温度依存性(II)
- 13)高速スメクチック液晶光変調素子による映像(〔情報入力研究会 情報ディスプレイ研究会〕合同)
- 液晶旋光子の制御システム : 情報入力,情報ディスプレイ
- 高速スメクチック液晶光変調素子による映像帯域動作 : 情報入力,情報ディスプレイ
- 高速スメクチック液晶光変調素子による映像帯域動作
- 蒸着/酸化/結晶化 過程分離のMBE法により作成したBi_2Sr_2CuO_y薄膜
- 強誘電性液晶による光偏波面制御 : 分子配列と光スイッチング
- 液晶の分子構造としきい電圧の温度依存性
- 反強誘電性液晶の配向特性
- 強誘電性液晶パネルを用いた光変調素子の周波数特性 : 情報ディスプレイ : 第4回日韓台情報ディスプレイ合同研究会
- PB06 フッ素置換3環系液晶の分子構造と分子間相互作用 : 異方性溶媒効果-その2 : ジオキサン系(トピカルセッション-液晶物性計測の最前線-, 2005年日本液晶学会討論会)
- 1A21 含フッ素3環系ネマチック液晶の分子間相互作用に関する考察 : 異方性溶媒効果(物理・物性)
- 3D11 液晶の分子機械モデル (III) : 分子の回転運動と液晶相の安定性
- フッ素系ネマチック液晶材料におけるツイスト弾性定数の温度依存性
- 液晶性ポリイミド配向膜を用いた液晶の配向制御
- カルバゾール・アントラセン共重合体を用いた有機EL素子
- 混合単層有機EL素子キャリア注入特性の検討
- フレキシブル有機ELのためのインクジェットプリント技術
- 有機ELパネルのインクジェット印刷技術
- 有機TFTの電気的評価 (特集 有機EL・有機TFTの最新事情)
- インクジェット印刷技術による有機デバイス (特集 プリンテッド・エレクトロニクス最前線)
- 両面発光有機ELパネルとフレキシブル応用(センサー,デバイス,一般)
- 塗布形有機薄膜の形成と有機EL素子応用 (特集 有機EL研究の最前線)
- IJP方式によるセルフアライン有機ELデバイス (特集 インクジェット技術による製造改革)
- 自己整合有機トランジスタの有機エレクトロニクスへの応用展開 (特集 フレキシブルディスプレイ--実用化に向けた材料技術の開発動向)
- 自己整合インクジェットプリント法を用いた有機EL素子の作製 (マテリアルフォーカス:オプトロニクス 2ヶ月集中企画! ダークスポット対策,長寿命化への闘い 有機ELの技術トレンド(マテリアル・製造プロセス編))
- 自己整合技術を用いたフレキシブル有機EL素子と非接触電磁給電発光 (特集 有機材料により実現するフレキシブル電子・光集積デバイス)
- フレキシブルマルチカラー自己整合有機ELパネル (情報ディスプレイ)
- M&BE分科会講習会「有機デバイスの基礎と応用"ソフトエレクトロニクス実現を目指して"」開催報告
- インクジェット法を用いた自己整合有機ダイオード
- 14)液晶旋光子の制御システム(〔情報入力研究会 情報ディスプレイ研究会〕合同)
- 液晶施光子の制御システム
- 自己整合有機トランジスタを用いた集積回路
- 自己整合有機トランジスタを用いた集積回路(機能性有機薄膜・一般)
- 干渉露光法を用いたナノ粒子配線の作製
- 有機EL素子のプロセス技術と応用展開
- PC02 電子ビーム露光法によるナノサイズ超微細パターンによるネマチック液晶配向制御(2004年日本液晶学会討論会)
- PA03 電子ビーム露光法による極微細溝での液晶配向特性の検討(物理・物性)
- SC-5-1 低分子系有機材料を用いた種々の溶液プロセスによる有機 EL 素子の評価
- パッシブマトリックス有機電界発光素子の回路シミュレーション
- 1C10 極微細周期形状による液晶配向制御性の検討(物理・物性)
- 1A14 無秩序に形成されたホールを有する液晶表示方式(ディスプレイ)
- スプレイ法を用いた有機EL素子の作製(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- スプレイ法を用いた有機EL素子の作製
- スプレイ法を用いた有機EL素子の作製
- スプレイ法による有機ELの開発 (特集 電子ディスプレイ「新技術」をいち早く掴む--有機ELディスプレイ,製造プロセス・材料の最新成果) -- (有機EL材料,製造プロセスの開発動向)
- 液晶分子の回転運動と液晶相の安定性
- 混合単層有機EL素子キャリア注入特性の検討(発光型/非発光型ディスプレイ)
- スメクチックA液晶を用いた新構造偏光制御素子
- スメクチックA液晶を用いた光位相制御素子による斜方入射光の位相特性
- 3B02 液晶の分子機械モデル (II) : 分子集合系の力学モデルの提案
- 3B01 液晶の分子機械モデル (I) : 分子を機械と見做すと何が見えてくるか
- 3D05 インプレーン電極を有する散乱型表示方式の検討
- 2008年リフレッシュ理科教室北陸・信越支部富山地区「真空と光が拓く未来の世界」開催報告
- 超軽量・フレキシブル化を目指した有機電子デバイスの応用展開(超高速情報伝達デバイスの創製と応用,プロジェクト研究成果報告)
- 富山大学工学部電気電子システム工学科電子デバイス工学講座
- 反強誘電性液晶セルにおける表面処理と液晶の分子配列 : 二方向ラビング
- 塗布技術で作製する有機EL素子 (特集 有機EL研究開発の最前線)
- 平成15年度日本液晶学会ディスプレイフォーラム講演会報告
- 1999年日本液晶学会討論会報告
- ポリアクリロニトリル配向膜を持つ反強誘電性液晶素子の配向特性
- スメクチックA液晶を用いた液晶長波長帯光変調素子
- 分散型ELパネルにおけるマトリクス駆動特性
- AFMによるアラキジン酸カドミウムLB膜の表面構造の評価
- 有機薄膜EL素子のホール輸送層材料によるEL特性の変化
- 有機薄膜EL素子(ホール輸送材料とEL特性)
- インプレーン電極を用いた新表示方式の検討
- スプレイ法を用いた有機EL素子の作製
- Organic Field-Effect Transistor Integrated Circuits using Self-Alignment Process Technology
- Build-on Technology of Bi-Directional Optical Communication System using Bi-Functional Organic Diodes
- マトリクス有機電界発光素子の回路シミュレーション
- Cs系合金を陰極として用いた有機電界発光素子
- Cs系合金を陰極として用いた有機電界発光素子
- 有機EL素子のペイント法による作製 (技術特集 有機EL素子の製造技術)
- 側壁形成工程を用いた微細形状真空三端子デバイスの電子放出特性
- 有機ヘテロ接合フォトトランジスタの特性
- 二種の電極構造を用いた微小屈折表示方式に関する検討
- インクジェットによる有機ELデバイス作製 (特集 エレクトロニクスと印刷)
- 横電場中での強誘電性液晶による光スイッチング特性
- 有機ELへの応用と展望 (特集 次世代を担う導電性高分子材料--開発動向と応用)
- インクジェットを用いた有機EL素子と印刷・塗布による複合有機EL技術 (特集 有機ELの新展開)
- バーコート法を用いた有機EL素子の作製 (有機エレクトロニクス)
- 混合単層有機EL素子キャリア注入特性の検討
- 2010年日本液晶学会講演会報告