有機トランジスタのペンタセンパターニング技術(機能性有機薄膜・一般)
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概要
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有機トランジスタヘの適用を狙い、新たなペンタセンのパターニング技術について検討した。エキシマレーザを用いたマスクによるペンタセンの直接パターニング技術では、ライン&スペース2μmのパターニングが確認できた。パターニング前後のトランジスタの静特性より、オン電流の低下は最大14%に留まった。溶液プロセスによるインクジェットプリント法を用いたトランジスタ作製では、溶液にジクロロベンゼンを、取扱いを不活性ガス雰囲気、遮光環境とし、基板温度70℃で成膜することで、ペンタセン薄膜が形成でき、トランジスタ動作を得た。得られたトランジスタの電界効果移動度は2.7×10^<-3>cm^2/Vsであった。
- 2004-11-18
著者
-
中 茂樹
富山大学工学部理工学研究科ナノ新機能物質科学専攻
-
岡田 裕之
富山大学工学部理工学研究科ナノ新機能物質科学専攻
-
有沢 崇志
富山大学工学部
-
兵藤 貴博
富山大学工学部
-
角本 英俊
科学技術振興機構研究成果活用プラザ東海
-
女川 博義
富山大学工学部
-
宮林 毅
科学技術振興機構研究成果活用プラザ東海
-
井上 豊和
科学技術振興機構研究成果活用プラザ東海
-
有沢 崇志
富山大学理工学研究部
-
女川 博義
富山大学理工学研究部
-
岡田 裕之
富山大学工学部 理工学研究科 ナノ新機能物質科学専攻
-
宮林 毅
ブラザー工業株式会社
-
井上 豊和
ブラザー工業株式会社
-
中 茂樹
富山大学工学部
-
兵藤 貴博
研究成果活用プラザ東海
-
Onnagawa Hiroyoshi
Department Of Electronics And Computer Science Toyama Universiry
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