超音波接合によるAu/Au界面の結晶組織観察
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概要
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寿命試験において差を有する超音波接合によるAuボールおよびAu電極の接合部において,結晶学的検討および微細組織観察を行った。SEM観察により接合部に未接合部が見られた。また,低い超音波出力によるLP試料の接合の長さは,高い超音波出力によるHP試料と比較すると短いことがわかった。LP試料の接合部界面は,EBSDによるIPF像の解析により,接合前の界面の結晶方位を残して明瞭に観察された。しかしながら,HP試料における接合部界面は明瞭ではなく,新たに生成した広い領域において{001}結晶粒が接合面に平行に形成した。本研究により,SEMおよびTEM観察によって結晶方位は明らかにされなかったが,Auボールの軸と同じ結晶粒がAu電極に形成することが結論づけられた。
- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2009-07-01
著者
-
恵良 秀則
九州工大 大学院工学研究院
-
山口 富子
九州工業大学 大学院
-
西尾 一政
九州工業大学 大学院
-
西尾 一政
九州工大
-
恵良 秀則
九州工業大学大学院
-
大坪 文隆
九州工業大学
-
恵良 秀則
九州工業大学
-
恵良 秀則
九州工業大学工学部
-
恵良 秀則
九州工業大学大学院工学研究科
-
十川 三臣
九州工業大学大学院
-
山口 冨子
九州工業大学
-
西尾 一政
九州工業大学
-
山口 富子
九州工業大学
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