17aD02 スパッタ法により合成された多結晶ZnO薄膜の優先配向(結晶成長基礎(1),第35回結晶成長国内会議)
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概要
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Preferred orientation of polycrystalline films and relating film structure, often called texture, have been one of major topics in the community of crystal growth. However, the reported results are scattered and discussions about the mechanism of preferred orientation are sometimes conflicting. The aim of this presentation is to acquire a clear perspective on the mechanisms determining preferred orientation of sputter-deposited ZnO films.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2005-08-17
著者
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