フレキシブルシリコーンゴム基板上へのマイクロ光学部品の集積化(光部品の実装・信頼性,一般)
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概要
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F_2レーザー(波長157nm),ArFレーザー(波長193nm)およびNd:YAGレーザーの第4高調波(波長266nm)誘起光化学反応を基にして,シリカガラス(SiO_2)光導波路およびマイクロ白色光源などのマイクロ光学素子を,シリコーン(ポリジメチルシロキサン)ゴムチップ上に集積化するための基礎的手法について述べる.
- 2009-04-10
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