燃焼合成ダイヤモンド膜の電気特性 : 電気抵抗率に及ぼす合成条件(基板表面温度,当量比)の影響(熱工学,内燃機関,動力など)
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概要
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The purpose of this research was to clarify the electric characteristics of diamond film synthesized by combustion flame and to synthesize a suitable diamond film for use in electronic device applications. When the film contains amorphous carbon, the electrical resistivity (volume resis-tivity) decreases, i.e., the electric characteristics of the diamond film become worse. To decrease the content of amorphous carbon in the diamond film we utilized two methods, the detection of the optimal equivalence ratio and the optimal substrate temperature. These methods can decrease the amount of amorphous carbon effectively, thus systematically changing the factors influencing the optimal synthesis for improving the film's electric characteristics. We have successfully developed a method for producing high-quality diamond film with excellent electric characteristics, which has high electrical resistivity (10^<10>-10^<13>Ω・m) at room temperature.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-02-25
著者
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