416 マイクロ水流を用いた電気めっきによるマイクロチューブの製作(第2報)(OS-2 放電加工)
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概要
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In this article, the new fabrication method of metal microtubes structure is proposed. The method consists of the combination of simple electroplating method and micro fluidics is used for the fabrication of the metal microtubes on a silicon wafer. This method makes it possible to fabricate metal microtubes array in high through-put, low cost way.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-24
著者
-
高間 信行
東京大学 生産技術研究所
-
金 範〓
東京大学 生産技術研究所
-
斉藤 毅
東京大学
-
Low Peter
東大 生産技研
-
Peter Low
東大生研
-
高間 信行
東大生研
-
金 範〓
東大生研
-
斉藤 毅
東京大学大学院工学研究科
-
斉藤 毅
東京大学大学院 工学系研究科
-
ロー ペータ
東京大学生産技術研究所
-
高間 信行
東京大学生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター
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