集束イオンビームを用いたミクロンスケール領域での加工及び組み立て
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概要
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As nanotechnology advances, fabrication techniques based on focused ion beams (FIB) are expected to be useful in manufacturing complex microstructures. We developed a micro-manufacturing method with superior micro-assembly capability by employing FIB milling, FIB-assisted deposition, a rotational-type side-entry stage, and a micro-sampling system. After being machined by FIB milling, micro-samples were assembled into a 25-μm-diameter micro universal joint. A 1-μm-diameter micro-joint was also successfully manufactured in the same manner. Results of TEM observation of the interface between the deposited layer and the substrate suggest that FIB-assisted deposition can be applied to the formation of micro-joints in a micro-machine manufacturing process. This micro-manufacturing method is a powerful tool for the fabrication and assembly of micro-machines.
- 大阪産業大学の論文
- 2006-06-30
著者
-
田中 武雄
大阪産業大
-
志水 一平
大阪産業大学大学院工学研究科アントレプレナー専攻
-
藤原 誠
大阪産業大学大学院工学研究科アントレプレナー専攻
-
源内 規夫
大阪産業大学新産業研究開発センター
-
志水 一平
大阪産業振興機構
-
田中 武雄
大阪産業大学大学院工学研究科アントレプレナー専攻
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