ダイヤフラム構造を利用したガラス基板光導波型マイクロホンの設計 : 感度のダイヤフラム厚依存性およびダイヤフラム辺比依存性(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,及び一般)
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概要
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光導波型マイクロホンの感度は,ダイヤフラム厚の2乗に反比例することが理論的に分かっている.また,理論計算によると,感度は,ダイヤフラム辺比1以下では,辺比が大きくなるにつれて高くなっていくが,辺比1以上ではほとんど変化しなくなる.これらの依存性は,光導波型マイクロホンを設計する上で重要であるが,これまで実験的には明らかにされていない.そこで,本研究では,これらの依存性を実験的に考察した.次に,感度のダイヤフラムサイズ依存性を考慮して,ダイヤフラムサイズ20mm×20mm×0.15mmの光マイクロホンを試作し,100dB-SPLの音波検出に成功した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-06-22
著者
-
大河 正志
新潟大工
-
大河 正志
新潟大学工学部
-
渡部 裕
新潟大学大学院医歯学総合研究科循環器分野
-
渡部 裕
新潟大学大学院自然科学研究科
-
佐藤 孝
新潟大学工学部
-
新國 広幸
新潟大学大学院自然科学研究科
-
関根 征士
新潟大学工学部
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