ハイブリッド光センサーによる表面変位測定の自己較正(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)
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概要
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表面形状を高解像度かつ高レンジで測定し得る光学的システムを開発した.システムは測定面からの反射光を用いたnm測定システムと散乱光を用いたμm測定システムのハイブリツド構造となっている.さらに,両システムで同一点を測定(同軸化)することにより,自己較正が可能な構造となっている.また,同軸化が測定値にもたらす影響は較正曲線を利用することによって全く問題にならないものであり,本システムの測定解像度はサブnm,測定レンジは約±0.3mmが期待できる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-05-18
著者
-
橋爪 慎哉
株式会社北計工業
-
上月 具挙
広島国際大学工学部
-
上田 正紘
福井大学教育地域科学部
-
上田 正紘
福井大学
-
橋爪 慎哉
(株)北計工業
-
高 〓
福井大学教育地域科学部
-
石川 和彦
福井大学教育地域科学部
-
菅 博
広島国際大学工学部
-
桜井 哲真
福井大学工学部
-
桜井 哲真
福井大学大学院工学研究科
-
上田 正絋
福井大学教育学部
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