反射法と結像法の併用による表面凹凸のハイブリッド測定システム(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)
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概要
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鏡面試料の表面うねりと粗面試料の表面粗さの両方を測定し得る光学的システムを開発した。システムは測定試料からの反射光を用いた表面うねり測定部と,散乱光を用いた表面粗さ測定部を併用したハイブリッド構造となっている。本システムの表面うねり測定における解像度は1nm以下,測定周波数は24Hz,表面粗さ測定における解像度は約2μm,測定レンジは±0.3mm,また測定周波数は100Hzである。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-05-26
著者
-
上月 具挙
広島国際大学工学部
-
上田 正紘
福井大学教育地域科学部
-
上田 正紘
福井大学
-
石川 和彦
福井大学教育地域科学部
-
菅 博
広島国際大学工学部
-
桜井 哲真
福井大学工学部
-
舒 芹
福井大学工学部
-
上月 具挙
福井大学工学部
-
當間 安厚
(株)北計工業
-
石川 和彦
福井高専電子情報工学科
-
桜井 哲真
福井大学大学院工学研究科
-
上田 正絋
福井大学教育学部
-
舒 芹
福井大学工学研究科
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