5. フルオロカーボン分子の電子衝突励起過程と原子・分子データベース(<小特集>材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)

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概要

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• 本格的なナノテクノロジーの時代を迎え,デバイス構造の複雑化と新しいチャンネル材料の開発も進み,ナノスケールでのプラズマを用いた微細加工技術がますます不可欠になってきている.それに伴い,エッチングプロセスでは材料ガスとして使用する原子・分子種の多様性も増してきている.同時に,環境調和型の自然に優しい技術も求められ,省エネフロン系分子の開発も進んでいる.今後,プラズマを使った加工技術をより研ぎ澄まされたものにするには,プラズマの原子・分子レベルでの理解がますます避けて通れないのが現状である.電子衝突で始まるというすべてのプラズマの持つ唯一の共通な視点から見たとき,電子衝突励起素過程の把握は,例えば中性ラジカル,電離,負イオン等の分子レベルでの生成機構の極めて重要な情報を与えてくれる.また,個々のプラズマ内の後続過程の複雑な衝突・反応機構の解明には,信頼性の高い原子・分子データベースが必須で,その整備が緊急課題となっている.

• 2007-04-25

著者

• 星野 正光

  上智大理工

• 田中 大

  上智大理工

• 村上 泉

  核融合研

• 加藤 隆子

  核融合科学研究所

• 加藤 隆子

  核融合研

• 加藤 大治

  核融合研

• 加藤 太治

  核融合研

• 加藤 太治

  核融合科学研究所連携研究推進センター

• 加藤 太治

  核融合科学研究所

• 田中 大

  上智大学理工学部

• 星野 正光

  上智大学理工学部

• 村上 泉

  核融合科学研究所

• Tanaka H

  Nanotechnology Research Institute National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (

• 加藤 隆子

  名古屋大 プラズマ研

• Hiraoka T

  Faculty Of Integrated Arts And Science Hiroshima University

• 田中 大

  上智大学理工学部 物理学科

• Takei Humihiko

  Institute For Iron Steel And Other Metals Tohoku University

• Hiraoka T

  Faculty Of Science And Engineering Saga University

• Tokoro Hiroko

  Department Of Chemistry School Of Science The University Of Tokyo

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