C-3-62 おもり付きダイヤフラムを用いたシリコン基板光導波型加速度センサ : センサ感度の導波路位置依存性(光記録・計測(1),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2006-09-07

著者

• 大河 正志

  新潟大工

• 関根 征士

  新潟大学工学部

• 大河 正志

  新潟大学 工学部

• 関根 征士

  新潟大学 工学部

• 佐藤 孝

  新潟大学 工学部

• 外川 徹郎

  新潟大学大学院 自然科学研究科

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