1014 ハイテク制御流路の気流シミュレーション(GS-5 管内流・数値解析,研究発表講演)
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概要
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High-Tech control unit is equipment which picks up an IC chip from a wafer at the nose of a holder, and put it on a board, performing the change of a vacuum and high pressure through an air fiber by use of an electromagnetic valve. The present paper considers computational procedure to simulate air flow in the air fiber connecting the holder with the electromagnetic valve.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-03-18
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