418 有限要素法を用いた多結晶薄膜の熱残留応力の評価(応力破壊解析,学術講演)

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概要

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• 2005-03-01

著者

• 田中 啓介

  名城大学理工学部

• 秋庭 義明

  名古屋大学大学院工学研究科

• 來海 博央

  名城大学

• 田中 啓介

  名古屋大学

• 福井 義章

  名城大学院

• 福島 恵介

  名城大学院

• 秋庭 義明

  名古屋大学

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