501 超音波モータ駆動によるナノメートル位置決めのための摩耗粒子制御の研究(機素潤滑設計・材料加工 I,2.学術講演)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2005-03-15

著者

• 足立 幸志

  東北大

• 足立 幸志

  東北大学

• 松田 佑介

  東北大・院

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