磁気中性線放電プラズマを用いたカーボンナノチューブの作製
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Recently, the big diameter making of the wafer is rapidly advanced with the ultrafine processingtechnology of 0.1μm in the minimum in recent semiconductor manufacturing process line width in theprocess of the semiconductor. Then, the plasma source by which a uniform process in a large area canbe done is requested. Then, the NLD (Neutral Loop Discharge) plasma was proposed. Because theNLD plasma can dynamically control impossible plasma in past plasma, a highly effective processcan be done. However, it is a current state of being limited from the structure only to the etching fieldnow, We have aimed to pioneer the NLD plasma to a new field by applying a peculiar concept of theNLD plasma to the CNT (Carbon Nanotubes) making.
- 宮崎大学の論文
- 2006-08-30
著者
-
大坪 昌久
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
本田 親久
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
本田 親久
九大工
-
成 烈
Dep. Of Electrical And Electronic Engineering Univ. Of Miyazaki Miyazaki 889-2192 Jpn
-
本田 親久
宮崎大学
-
成 烈〓
宮崎大学大学院工学研究科
-
大坪 昌久
宮崎大学
-
成 烈[ブン]
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
川尻 晋平
宮崎大学工学研究科電気電子工学専攻
-
楊 鍾煥
宮崎大学工学研究科システム工学専攻
-
井上 大士
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
本田 親久
宮崎大学工学部
関連論文
- 50W級小型風力発電機の故障診断技術の開発
- Dynamic Drop Test における帯電及び塩分による試料表面の撥水性への影響
- 音響・電気的測定法を用いた運転中水車発電機の長期部分放電特性
- カウント数と周期ノイズ検出法を用いたがいし放電音の観測
- 音響・電気的測定法を用いた水車発電機運転・停止中における部分放電特性
- 音響・電気信号ハイブリッド検出による運転中水車発電機の部分放電特性
- 周期ノイズ検出法を用いた鉄塔付近の放電音観測
- 碍子汚損に伴う放電音の計測と絶縁診断システムの開発
- 送電線鉄塔のがいし汚損時の騒音測定と解析
- ナフィオン膜の熱劣化メカニズムの解明
- 負荷投入時の電気二重層キャパシタの応答性に関する基礎的検討
- 燃料電池MEAの熱劣化メカニズムの解明
- ナノポリマーから作製したレゾルシノール系ナノカーボンを用いた電気二重層キャパシタの特性
- 触媒層積層型MEAの性能評価
- 模擬バイオガスを用いたガスエンジンコージェネレーションの研究
- 導電性フィラーとしてケッチェンブラックを配合した電気二重層キャパシタの基礎特性
- 太陽電池の等価回路パラメータ推定法
- 固体高分子形燃料電池の加湿条件の検討
- 太陽電池の短絡電流と開放電圧を指標とする最大出力制御
- 電気二重層キャパシタ内部の空間電荷分布測定と評価
- 風力発電を模擬した電源による電気二重層キャパシタの充電特性
- パルス静電応力法による電気二重層キャパシタの内部電荷分布測定
- PEA法を用いた電気二重層キャパシタの内部電荷分布の測定
- 超音波センサを用いた運転中水車発電機固定子巻線の部分放電分布と長期部分放電特性
- ステンレス線を用いた限流ヒューズにおけるインパルス大電流溶断特性の検証
- 50W級小型風車における始動特性改善の検討
- 11.ステンレス線を用いた螺旋状エレメント形限流ヒューズの溶断特性の検証(自然科学)
- 50W級小型風車における出力特性の検討
- 分光法によるコロナ放電の温度測定
- ステンレス線を用いた低コスト高圧カットアウトヒューズの開発
- 高圧カットアウトヒューズに発生するコロナ放電の温度測定
- 水車発電機固定子コイルのAE波計測による絶縁診断(3)
- AE法を用いた水車発電機の運転環境条件による部分放電特性
- AEセンサを用いた水車発電機固定子巻線のオフライン・オンライン部分放電比較
- 外部環境を考慮した超音波法による運転中水車発電機固定子巻線の部分放電特性
- 超音波法による運転中水車発電機固定子巻線の長期部分放電特性
- AE法による水車発電機固定子巻線の絶縁診断システムの開発
- 宮崎大学 工学部 電力研究室
- 絶縁ゴムの部分放電劣化に伴うAE信号の特性解析
- 配電用シリコーンゴム製終端接続部の汚損地区での寿命評価方法
- 大電流繰り返し印加によるZnO素子の動作特性と限界性能把握
- ケーブル直結端末部の絶縁劣化診断法の研究
- 唐津発電所におけるポリマー碍子の曝露試験結果の報告
- 導電率を変えた水電極におけるアーク放電をポリマー試料表面に曝した***ージョンの形状の変化
- 繰り返し動作によるZnO素子の動作特性
- レーザ誘起蛍光法を用いたMgO保護膜の劣化過程の解明(2)
- 運転中水車発電機固定子巻線における部分放電特性
- 22kV機器直結端末における部分放電検出による劣化診断法の開発
- 磁気中性線放電プラズマを用いたカーボンナノチューブの作製
- 送電鉄塔建設における落雷頻度算出のためのニューラルネットワークの構築
- 酸化亜鉛型避雷素子の筋状破壊機構の解明に関する研究
- AE法による水車発電機固定子巻線の部分放電位値評定システムの開発
- AEセンサを用いた水車発電機運転中部分放電測定
- 光応用電圧・電流センサを用いた配電用高圧高調波測定器の開発
- 6.6kV配電系統用光電圧・電流センサの開発と高調波測定・解析
- 励磁突入電流予測装置の開発と現地確認試験結果について
- ダイナミックドロップテストにおけるシリコーンゴム表面の撥水性消失特性
- 碍子表面の汚損堆積物が漏れ電流に与える影響の検討
- 光応用電界センサとレーザトリガを用いた放電空間中の直流電界計測
- 直流電界計測用光応用電界センサとレーザ電子ドリフト法を用いた空間電荷電界計測
- レーザ分光法を用いたプラズマ中の直流電界計測
- ポリマー材料への複合汚損の影響
- 22kV級配電用EVA碍子の台風時漏れ電流と塩霧試験結果の比較
- 局部アーク放電とポリマー碍子材料の***ージョンとの関係
- 光電界センサを用いたレーザ生成プラズマの誘導放電計測
- レーザ放電誘導機構の解明(2)
- レーザ放電誘導機構の解明
- 白金使用量の低減を目的とした固体高分子形燃料電池用MEA作製技術の検討
- R_3Fe_5O_磁気光学結晶薄膜を用いた光ファイバ付配電用光電流センサシステムの開発
- 汚損碍子の放電騒音及び電磁波観測による放電状態の評価
- がいしの部分放電に伴う放電音波と波形解析方法
- 高周波パルス電流計測用光磁界センサの開発
- EVA沿面放電における消弧点近傍の電子密度の測定
- NLDプラズマ生成技術を用いたスパッタリングへの応用
- ヌル磁場放電プラズマによる新しいスパッタ装置の開発
- 沿面放電型避雷装置の消弧メカニズム
- レーザ分光法を用いた放電プラズマ中の電界計測
- 白金使用量の低減を目的とした固体高分子形燃料電池用MEA作製技術の検討
- 局部アーク放電に曝されたシリコーンゴムの熱解析
- レーザ誘起蛍光法による真空アーク中の銅原子放出速度計測
- 複合加速劣化試験における試験条件と放電電気量の関係
- 電界計測による長ギャップレーザ誘導放電のリーダ進展メカニズムの基礎的検討
- レーザ生成プラズマによる誘導放電路のシミュレーション
- レーザ生成プラズマによるガス密度の変化と放電誘導
- レーザ生成プラズマによるガス密度の希薄化と放電誘導
- 放電誘導機構に関するレーザ生成プラズマの特性
- 放電誘導におけるレーザー生成プラズマの特性
- 沿面放電型避雷装置の長期信頼性に関する研究
- 絶縁チューブ内に雨水が浸入したときの沿面放電型避雷装置の動作特性
- Dynamic Drop Test におけるポリマー材料の撥水性低下に及ぼす水滴の帯電の影響
- ポリマーの吸水性・撥水性と表面変化
- ポリマー表面上にある水滴の帯電特性と放電状況
- 水車発電機の運転中の部分放電に伴うAE波
- 超音波解析による水車発電機の絶縁診断
- 6.6kV配電系統における高調波の測定と解析および高圧用高調波測定システムの開発
- 騒音・振動センサによる水車発電機の監視・診断に関する研究
- 水車発電機の模擬故障試験時における騒音・軸振動の測定と解析
- 22kV高圧カットアウトヒューズの劣化原因の解明とステンレス線を用いた源流型ヒューズの開発
- 直流電流計測用光応用電界センサを用いた放電空間中の電界計測
- 誘雷模擬装置による放電空間中の電界測定