微小ガラス素子の作製と光機能 : SILおよびWGM共振器への応用(光記録及び磁気記録一般)
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概要
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高温のガラス融液が持つ大きな表面張力と基板との濡れ性を利用した超半球形状を有する微小ガラス素子の成形法であるStM法とそれを利用した機能性デバイスの作製と機能について報告する.例として,超解像を実現する固浸レンズ(SIL)と閉じ込め効率の高い共振器であるWGM球状光共振器としての応用について示す.また,StM法の高度な利用方法として、オプティカルコンタクト,リソグラフィーとの組み合わせによる均一な粒径を有する超半球ガラス素子アレイの作製事例について示す.
- 2006-03-03
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