クリーンルーム内の非メタン炭化水素の発生量

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概要

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• In this paper we estimated the amount of non-methane hydrocarbon (NMHC) outgassed from a cleanroom by using a ventilation model. The estimated value for the amount of NMHC outgassed from an experimental cleanroom is in the range of 20 to 70ppmC・m^3/h in a steady state. The calculated NMHC concentration by ventilation model are consistent with the measured NMHC concentration in cleanroom air when outdoor air was introduced or a chemical filter was used under non-steady states. At an actual semiconductor manufacturing facilities, the estimated value for the amount of NMHC outgassed from the cleanroom is less than 5ppmC・m^3/h/m^2 when process equipments was stopped.

• 社団法人日本建築学会の論文
• 2001-04-30

著者

• 中島 啓之

  株式会社朝日工業社 技術研究所

• 中島 啓之

  (株)朝日工業社

• 本田 重夫

  (株)朝日工業社

• 本田 重夫

  広島大学大学院工学研究科:(株)朝日工業社技術研究所

• 本田 重夫

  (株)朝日工業所

• 本田 重夫

  (株)朝日工業社 技術研究所

• 中島 啓之

  株式会社朝日工業社

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